Lam Research Corp 価格

ラムリサーチ（Lam Research Corporation）は、半導体処理に不可欠な装置の設計、製造、販売、修理、および継続的なメンテナンスを手掛ける大手サプライヤーです。これらの高度なシステムは、集積回路製造の基盤をなしています。同社の製品群は多種多様な成膜技術を網羅しており、タングステン金属化向けにはコンフォーマル膜を成膜するALTUSシステム、銅配線遷移に不可欠で銅ダマシン製造を実現する電気化学堆積用途のSABRE製品、紫外線熱処理による膜処理を施すSOLA、プラズマ化学気相成長法（CVD）および原子層堆積法（ALD）ソリューションを提供するVECTORを備えています。さらに、高密度プラズマCVD製品によるギャップフィル用途のSPEED、誘電体膜向け単一ウェーハ原子層堆積に特化したStrikerがあります。成膜以外にも、ラムリサーチはエッチングツールの包括的なスイートを提供しています。Flexは誘電体エッチング、Kiyoは導体エッチングプロセス、Syndionはシリコン貫通ビアエッチング、Versysメタル製品は金属エッチングプロセスに用いられます。また、ベベル洗浄によりダイ歩留まりを向上させるCoronusなどの特殊ソリューションも展開。各種ウェーハ洗浄ニーズには、Da Vinci、DV-Prime、EOS、SPシリーズといった複数の製品ラインを供給しています。さらに、Metryx質量計測システムは、半導体ウェーハ製造における精密なインライン質量測定を実現します。ラムリサーチはグローバルな半導体業界にサービスを提供し、米国、中国、欧州、日本、韓国、東南アジア、台湾、その他の国際市場にわたって技術とサービスを展開しています。1980年に設立され、本社はカリフォルニア州フリーモントにあります。